阳极预电离改善准分于激光器放电均匀性

上传：qq_62177 浏览： 7 推荐： 0 文件：PDF 大小：890.31KB 上传时间：2021-04-24 03:10:41 版权申诉

提出了准分子激光器阳极预电离方案,并在实验上证实了阳极预能有效地改善放电均匀性,同时使激光输出能量略有提高。

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