自准检测法中平面反射镜的误差允许值

上传:97215 浏览: 6 推荐: 0 文件:PDF 大小:4.41MB 上传时间:2021-04-24 16:45:36 版权申诉
根据初级波面像差理论,推导了自准检测法中平面反射镜的误差允许值.所得结果既适用于轴上,也适用于轴外.同时指出了Burch的结果的局限性.
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