表面等离激元增强ZnO UV光电探测器的性能

表面等离激元是金属纳米粒子的独特属性,已被广泛应用于增强光学和电气设备的性能。 在这项研究中,高质量的氧化锌(ZnO)薄膜通过射频磁控溅射技术在石英基板上生长,并在ZnO膜上制备了金属半导体金属结构的紫外线检测器。 通过将金属(Pt)纳米粒子溅射到设备表面,光电探测器的响应度从0.836提高到1.306 A / W。 另外,ZnO薄膜的吸收在紫外线带中部分地增强。 揭示了Pt纳米颗粒在增强发生表面等离子体共振的光电探测器的性能中起关键作用。