一种基于白光迈克耳孙干涉仪波片延迟量的测量方法

将白光偏振干涉和迈克耳孙干涉仪相结合,提出了一种利用空间白光干涉图测量波片延迟量(包括级次信息)的方法。白光偏振干涉系统产生两束振动方向相同的线偏光,进入迈克耳孙干涉仪后分别被两干涉臂的平面镜反射,并两两干涉,在空间形成3组白光干涉包络。当被测件为多级波片时,根据白光干涉包络之间的光程差就可求得被测延迟量;当被测件为低级次波片时,利用白光干涉信号相位的改变量计算出延迟量的值。实验分别测量了多级波片和零级全波片的延迟量,其结果与使用光谱扫描法测量得到的结果均相吻合。