新型低损耗氧化硅Y分支光波导

提出了一种新型的Y分支光波导结构。该Y分支波导由一个入射波导、一个过渡波导和一对出射波导组成。过渡波导用于改善入射基模与出射偶对称模之间的场分布匹配,有效地提高了功率耦合效率,降低了分支耦合损耗。波束传播法(BPM)数字模拟计算表明,该结构在1.31μm和1.55μm波长下可分别达到0.041dB和0.052dB分支耦合损耗。实验中用等离子化学汽相沉积(CVD)技术制备了SiO2分支波导样品,在上述两波长下分别测得分支耦合损耗为0.08dB和0.09dB,基本达到了设计指标。