用于微振动测量的微型迈克尔逊干涉仪的构建

上传：hopeless3172 浏览： 6 推荐： 0 文件：pdf 大小：272.03 KB 上传时间：2022-09-21 18:28:45 版权申诉

该文介绍了一种用半导体激光器构建微型迈克尔逊干涉仪的方法。这种方法能应用于微振动的精确测量。实验证明,用这种方法构建的微振动传感器体积小、质量轻、价格便宜,并且具有很高的灵敏度和准确度。

关键词　迈克尔逊干涉仪,振动传感器,微振动测量