射频薄膜体声波谐振器的设计

摘要:提出了基于ZnO压电薄膜多层结构的2. 4GHz射频薄膜体声波谐振器,并进行了研究。采用

修正后的Mason等效电路模型对器件的谐振特性进行了分析和模拟。给出了采用MEMS工艺制

备器件的工艺流程,并利用射频网络分析仪对实验器件进行了测试。利用多点数值拟合的方法消

除射频测试中引入的寄生分布参数,提取出器件的实际参数:器件的串联谐振频率fs 和并联谐振

频率fp 分别为2. 3714GHz和2. 3772GHz,相应的有效机电耦合系数为0. 598%;串联谐振频率处和

并联谐振频率处的Q值分别为500. 3和425. 5, f·Q值乘积达到1. 2 ×1012。该谐振器器件的有效

直径为200μm,样品实际尺寸为1. 2mm ×1. 2mm ×0. 3mm,可用来制备体积小、高性能和低相噪的

射频振荡器。

关键词:薄膜体声波谐振器;振荡器;滤波器;双工器;射频微机电系统