论文研究铝垫工艺pits缺陷的形成机理和改善研究 .pdf

上传：Xieminsen 浏览： 31 推荐： 0 文件：PDF 大小：417.48KB 上传时间：2020-01-02 23:13:41 版权申诉

铝垫工艺pits缺陷的形成机理和改善研究，郭浩，，在集成电路制造中，Al具有在空气中稳定，且其工艺廉价和成熟的特点。这使其在90纳米甚至更微小尺寸的工艺技术的远后段制程中必不��