首页 下载 编程语言 其他 下载详情 论文研究铝垫工艺pits缺陷的形成机理和改善研究 .pdf 上传:Xieminsen 浏览: 31 推荐: 0 文件:PDF 大小:417.48KB 上传时间:2020-01-02 23:13:41 版权申诉 铝垫工艺pits缺陷的形成机理和改善研究,郭浩,,在集成电路制造中,Al具有在空气中稳定,且其工艺廉价和成熟的特点。这使其在90纳米甚至更微小尺寸的工艺技术的远后段制程中必不�� 立即下载 上传资源 微信扫一扫 用户评论 提交评论