论文研究电镀铜工艺中孔洞缺陷失效机理探究 .pdf

电镀铜工艺中孔洞缺陷失效机理探究，周峻晨，程秀兰，电镀铜工艺在线宽越来越小的背景下面临诸多缺陷问题，孔洞缺陷就是其中较常见也是较难解决的缺陷问题之一。本文运用分批实验的方