氧分压对ZnO薄膜结晶质量和光学特性的影响

上传：_ONEtoONE_ 浏览： 43 推荐： 0 文件：PDF 大小：773.97KB 上传时间：2020-01-03 20:15:30 版权申诉

氧分压对ZnO薄膜结晶质量和光学特性的影响，董武军，张庆瑜，利用脉冲激光沉积技术，在同一沉积温度（750℃）、不同沉积气压的条件下，在Si(100)基片上制备了未掺杂的高c轴取向的ZnO薄膜。通过扫�