缓冲层对ZnO薄膜特性影响的实验研究

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缓冲层对ZnO薄膜特性影响的实验研究，张传瑜，赵晓凤，本文主要是采用射频磁控溅射的方法在玻璃衬底上分别以钼，二氧化硅为缓冲层成功制备了ZnO透明导电薄膜。通过X射线衍射仪（XRD）、�