论文研究薄膜生长初期的计算机模拟 .pdf

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薄膜生长初期的计算机模拟，孔蕴婷，唐吉玉，本文利用MonteCarlo方法对薄膜生长过程进行计算机模拟。模型针对粒子的沉积、吸附及粒子的扩散等过程，研究了生长温度，生长时间对