论文研究AZO薄膜电阻特性研究 .pdf

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AZO薄膜电阻特性研究，杨家棚，端木庆铎，采用原子层沉积（AtomicLayerDeposition，ALD）技术制备AZO薄膜。本文主要研究了ZnO循环百分比和退火时间对AZO薄膜电阻的影响，以及不同组�