ITO电极与nZnO薄膜的欧姆接触特性

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ITO电极与n-ZnO薄膜的欧姆接触特性，宋力君，杜国同，利用射频磁控溅射方法在n-ZnO薄膜上制备了厚度为100nm的铟锡金属氧化物（ITO）电极。为了降低ITO电极和n-ZnO薄膜之间的接触电阻，在高纯