镓掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备

上传：yuoare 浏览： 33 推荐： 0 文件：PDF 大小：232.76KB 上传时间：2020-05-05 20:04:38 版权申诉

镓掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备，迟景阳，李雪，本文采用MOCVD方法制备出了Ga掺杂的氧化锌透明导电薄膜，系统研究了氧气流量对样品的结构、电学性质及透过率的影响，发现在合适的�