LMBE法制备氧化镓薄膜

上传：特特特特特无聊浏览： 17 推荐： 0 文件：PDF 大小：369.68KB 上传时间：2020-07-16 13:39:03 版权申诉

L-MBE法制备氧化镓薄膜，孔德敏，刘爱华，本实验用L-MBE（激光分子束外延）法在蓝宝石衬底上制备氧化镓薄膜，并研究了氧分压和激光能量对氧化镓薄膜结晶质量的影响。并利用X