非晶碳薄膜/硅异质结的气体压强敏感性

上传：奥粑粑浏览： 17 推荐： 0 文件：PDF 大小：348.92KB 上传时间：2020-07-16 06:23:48 版权申诉

非晶碳薄膜/硅异质结的气体压强敏感性，高熙礼，章晓中，用脉冲激光沉积的方法将非晶碳薄膜沉积到n型硅衬底上得到非晶碳薄膜/硅异质结。结果显示，该异质结在140-300 K的温度区间内具有良好�