氢化非晶硅薄膜的光谱椭偏研究
氢化非晶硅 (a-SiH) 薄膜在微电子和光电子工业中有着重要的应用,而椭偏分析技术是一种重要的薄膜表征手段。利用椭偏测量技术并采用Tauc-Lorentz(TL)模型和Forouhi-Bloomer(FB)模型,从不同角度对比研究了a-SiH薄膜的结构和光学特性。分析结果表明,用两种不同模型得到的a-SiH薄膜厚度、粗糙层厚度以及光学常数并不一致,由TL模型得到的薄膜厚度更接近扫描电镜 (SEM) 测量的结果,粗糙层厚度更接近原子力显微镜(AFM)测量结果对应的经验值。结合已发表的文献,分析发现膜厚差异主要来自于模型对薄膜光学参数的不同描述,而光学参数的差异是由于模型推导过程中的不同假设和数
用户评论
相关推荐
PECVD制备氢化非晶硅薄膜
PECVD制备氢化非晶硅薄膜的氢含量研究_王祖强.pdf
PDF
451KB
2020-07-18 03:44
光谱型椭偏仪精确表征非晶吸收薄膜的光学常数
采用光谱型椭偏仪(SE)和分光光度计分别测量了超薄类金刚石(DLC)薄膜和非晶硅(a-Si)薄膜的椭偏参数(y和D)和透射率T。由于薄膜的厚度与折射率、消光系数之间存在强烈的相关性,仅采用椭偏参数拟合
PDF
3.23MB
2021-02-09 01:56
表面粗糙氢化非晶硅薄膜光学常量的确定
由于光学薄膜的透射光谱和反射光谱受表面粗糙程度的影响很大,因此在确定表面粗糙薄膜的厚度及光学常量时,如果不考虑这种影响必然会引起较大的误差。利用标量波散射理论,引入表面均方根粗糙系数,对粗糙薄膜表面的
PDF
3MB
2021-02-16 21:52
掺硼非晶硅薄膜性能研究
掺硼非晶硅薄膜性能研究，朱魁鹏，吴志明，用等离子体增强化学气相沉积法制备了掺硼氢化非晶硅薄膜材料,对薄膜的电阻率和均匀性进行了研究.结果表明,掺硼a-Si:H薄膜的电阻率随
PDF
299KB
2020-07-17 11:00
掺硼非晶硅薄膜的性能研究
掺硼非晶硅薄膜的性能研究，朱魁鹏，吴志明，摘要:用等离子体增强化学气相沉积法制备了掺硼氢化非晶硅薄膜材料,对薄膜的电阻率和均匀性进行了研究.结果表明,掺硼a-Si:H薄膜的电�
PDF
0B
2020-04-01 03:53
双轴晶衬底上双轴晶单晶薄膜的椭偏测量
本文给出了两种测量双轴晶衬底上双轴晶单晶膜的折射率和膜厚的方法及测量的公式.我们利用这种方法测量了所研制的KTP光波导薄膜层的折射率和膜厚.
PDF
2.75MB
2021-02-21 11:36
非晶硅与单晶硅光谱响应
非晶硅与单晶硅光谱响应图片,下载以备急需。
BMP
1.14MB
2020-08-14 15:37
React性脉冲激光烧蚀制备的发光氢化纳米非晶硅薄膜
通过以氢为React气体的React性脉冲激光烧蚀技术制备了氢化的纳米非晶硅(na-Si:H)薄膜。 发现氢气压力对薄膜的结构和光致发光(PL)性能都有很大影响。 氢压力的增加导致膜从无定形的硅向na
PDF
961KB
2021-02-25 05:55
氧化铟锡薄膜的椭偏光谱研究
用溅射法在Si片上制备了厚度为140 nm的氧化铟锡(ITO)薄膜。X射线衍射研究表明所制备的薄膜为多晶结构。在1.5~4.5 eV范围内对ITO薄膜进行了椭偏测量。分别用德鲁德洛伦茨谐振子(Drud
PDF
1.21MB
2021-04-04 21:35
非晶硅银薄膜的飞秒激光辐照研究
采用磁控共溅射方法制备非晶硅银(a-Si∶Ag)薄膜,并对其进行飞秒激光辐照;采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、积分球、半导体性能测试仪等,对辐照前后薄膜的表面形貌、微观结构以及光电性能等进行表征。结果
PDF
5.23MB
2021-02-01 16:51
椭偏仪在薄膜材料研究中的应用
椭偏仪在薄膜材料研究中的应用,王慷慨,宋晨路,椭偏仪作为薄膜材料研究中一种高效、精准的研究手段,日渐在科研实验和工业生产中得到了广泛应用。本文以光度式椭偏仪为例,对其
PDF
1.01MB
2020-08-06 05:24
氢化非晶硅中空穴和电子的俘获效应.pdf
氢化非晶硅中空穴和电子的俘获效应
PDF
244KB
2020-07-18 10:55
KrF准分子激光退火氢化非晶碳化硅薄膜的晶化研究
介绍了利用KrF准分子脉冲激光对氢化非晶碳化硅(a-SiC∶H)薄膜进行激光退火以实现薄膜的结晶化。利用等离子增强化学气相沉积(PECVD)在单晶Si(100)衬底上制备a-SiC∶H薄膜, 再用不同
PDF
1.87MB
2021-03-11 09:16
基于结晶硅表面钝化的非晶氧化硅薄膜的研究
基于结晶硅表面钝化的非晶氧化硅薄膜的研究
PDF
101KB
2021-04-26 10:35
柔性非晶硅薄膜太阳电池技术
在过去的几十年中,人类经济活动的持续高速发展使得电力需求迅速增加。太阳电池是一种利用光生伏特效应将太阳能能直接转换为电能的半导体器件,很容易实现并网发电或作为独立能源。众所周知,太阳电池发电具有许多优
PDF
115KB
2020-10-27 12:20