双轴晶衬底上双轴晶单晶薄膜的椭偏测量

上传：dev_xp 浏览： 5 推荐： 0 文件：PDF 大小：2.75MB 上传时间：2021-02-21 11:36:01 版权申诉

本文给出了两种测量双轴晶衬底上双轴晶单晶膜的折射率和膜厚的方法及测量的公式.我们利用这种方法测量了所研制的KTP光波导薄膜层的折射率和膜厚.

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