正交试验优化PLD法制备ZnO:Al薄膜
正交试验优化PLD法制备ZnO:Al薄膜,李乾坤,王金斌,本文用脉冲激光沉积法(Pulsed Laser Deposition, PLD)在载玻片上制备了ZnO:Al(AZO)透明导电氧化物薄膜。引入正交试验优化薄膜制备参数,通过极�
用户评论