Na掺杂p型ZnMgO薄膜制备与p ZnMgO:Na/n ZnO p n结LED原型器件研究

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Na掺杂p型ZnMgO薄膜制备与p-ZnMgO:Na/n-ZnO p-n结LED原型器件研究，薛雅，叶志镇，采用脉冲激光沉积方法制备出晶体质量较好的Na掺杂p型ZnMgO薄膜，薄膜沿c轴方向柱状生长，p型导电信号可靠。在低阻Ga掺杂(0001)取向的n-Z