论文研究隔离工艺对高压双极晶体管工艺的影响 .pdf

上传：xin9707635 浏览： 9 推荐： 0 文件：PDF 大小：295.85KB 上传时间：2020-07-17 10:34:54 版权申诉

隔离工艺对高压双极晶体管工艺的影响，徐华芹，，双极晶体管工艺通常以外延工艺前硅片衬底上形成的P型埋层即BP和外延上形成的P Sinker即DP相接来实现对通隔离。在高压双极晶体管的应��