论文研究一种用于光学器件封装的圆片级玻璃微透镜阵列的制备 .pdf

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一种用于光学器件封装的圆片级玻璃微透镜阵列的制备，徐超，罗新虎，本文介绍了一种使用Pyrex7740玻璃制备圆片级二元微透镜阵列的方法，它可以应用于红外探测器、LED等光学器件。本工艺基于硅微加工工艺