首页 下载 移动开发 其他 下载详情 基于数值模拟方法的单晶硅表面微构型制造研究 上传:yuyukaola 浏览: 9 推荐: 0 文件:PDF 大小:1.04MB 上传时间:2020-07-21 02:53:47 版权申诉 基于数值模拟方法的单晶硅表面微构型制造研究,韩雪松,,显微探针技术的突破以及高端MEMS的性能需求促使微纳尺度三维表面结构/构型制造技术的研究不断深入。随着器件尺度的不断缩小,表面� 立即下载 上传资源 微信扫一扫 用户评论 提交评论