基于数值模拟方法的单晶硅表面微构型制造研究

上传：yuyukaola 浏览： 9 推荐： 0 文件：PDF 大小：1.04MB 上传时间：2020-07-21 02:53:47 版权申诉

基于数值模拟方法的单晶硅表面微构型制造研究，韩雪松，，显微探针技术的突破以及高端MEMS的性能需求促使微纳尺度三维表面结构/构型制造技术的研究不断深入。随着器件尺度的不断缩小，表面�