单晶硅片的制造技术

上传：qqliable45976 浏览： 10 推荐： 0 文件：DOCX 大小：279.18KB 上传时间：2020-12-30 18:06:58 版权申诉

摘要:随着IC技术的进步,集成电路芯片不断向高集成化、高密度化及高性能化方向发展。传统的硅片制造技术主要适应小直径( ̄

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