首页 下载 移动开发 其他 下载详情 微介绍mems传感器应用领域 上传:cyx25934 浏览: 19 推荐: 0 文件:PDF 大小:184.38KB 上传时间:2020-07-22 05:55:34 版权申诉 MEMS 的全称是微型电子机械系统,利用传统的半导体工艺和材料,集微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。具有小体积、低成本、集成化等特点。 立即下载 上传资源 微信扫一扫 用户评论 提交评论