MEMS加速传感器瞄准医疗领域应用

上传:zlmaxi 浏览: 20 推荐: 0 文件:PDF 大小:101.34KB 上传时间:2020-10-27 12:23:00 版权申诉
通过基于微电子机械系统(MICROELECTROMECHANICALSYSTEM,MEMS)的加速传感器和陀螺仪的设计,MEMS技术已经广泛应用于导航和游戏软件领域;但是,微型电磁式感应器技术正越来越多地应用于医疗领域。MEMS普遍应用于患者诊断
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