硅薄膜的制备及光学性能研究

上传：xudaqing67031 浏览： 17 推荐： 0 文件：PDF 大小：541.48KB 上传时间：2020-07-24 06:40:06 版权申诉

硅薄膜的制备及光学性能研究，马胜利，王利，本文采用磁控溅射技术，通过改变溅射功率制备了系列非晶硅薄膜，并研究了薄膜的光学性能。结果发现，随着溅射功率的提高，硅薄膜

上传资源

NbSiN薄膜的制备及光学性能研究

采用射频磁控溅射法,以铌靶和硅靶为靶材,在玻璃基片上沉积了NbSiN薄膜。研究了硅靶、铌靶功率、氮气流量以及溅射时间对薄膜光学性能的影响,得出实验室条件下的最佳制备工艺参数。测试结果表明,最佳工艺参数

2021-02-08 22:58

硫化铋微晶掺杂薄膜的制备及光学性能的研究

用溶胶-凝胶法能够有效地制备含0.5%的具有量子尺寸效应的Bi2S3微晶掺杂硅薄膜.薄膜的室温透射光谱发现,在500 °C热处理时,随着热处理时间的延长,薄膜的特征透射谱谷会发生向长波方向的移动,作者

2021-04-08 08:39

React磁控溅射沉积SiCN薄膜的制备及光学性能

React磁控溅射沉积SiCN薄膜的制备及光学性能

2021-04-27 06:29

溶液法制备氧化锡薄膜及光学特性研究

采用五水合氯化锡配制前驱体溶液,通过旋涂法在玻璃基底上制备了一种可见光平均透射率在90%以上的氧化锡透明薄膜。研究发现,对玻璃基底进行等离子预处理有助于改善氧化锡薄膜的表面质量。当等离子处理功率为25

2021-02-23 12:29

氮化铝薄膜的制备及介电性能研究

氮化铝薄膜的制备及介电性能研究，希望对大家有用

2019-09-21 06:16

光学复合纳米纤维的制备及性能研究初探

光学复合纳米纤维的制备及性能研究初探，王晓英，吴楠楠，利用静电纺丝法成功制备了联吡啶钌掺杂的多壁碳纳米管/聚丙烯酸树脂光学复合纳米纤维（Ru-MWNTs-S100）。采用扫描电子显微镜 (FESEM

2020-07-16 18:36

硅钙渣基生态混凝土的制备及性能研究

硅钙渣基生态混凝土的制备及性能研究，赵亚钊，刘晓明，硅钙渣是高铝粉煤灰提取氧化铝过程中排放的固体废弃物。本文以硅钙渣为主要原料，辅以矿渣、熟料、粉煤灰、石膏来制备硅钙渣基生

2020-07-16 22:14

光学薄膜的用途以及制备

光学薄膜是一类重要的光学元件,它广泛地应用于现代光学、光电子学、光学工程以及其他相关的科学技术领域。在光的传输、调制,光谱和能量的分割与合成以及光与其他能态的转换过程中起着不可替代的作用。

2020-05-31 10:52

掺硅类金刚石薄膜的制备及其微观机械性能研究

采用射频感应耦合离子源(ICP)在硅基底上沉积了DLC薄膜,并利用离子束溅射固体单晶石墨的方法掺入Si元素。通过原子力显微镜(AFM)和拉曼光谱对DLC薄膜的表面形貌及结构进行了分析表征。并用UTM-

2020-07-17 20:09

掺硼非晶硅薄膜的性能研究

掺硼非晶硅薄膜的性能研究，朱魁鹏，吴志明，摘要:用等离子体增强化学气相沉积法制备了掺硼氢化非晶硅薄膜材料,对薄膜的电阻率和均匀性进行了研究.结果表明,掺硼a-Si:H薄膜的电�

2020-04-01 03:53

高硼硅玻璃薄膜的磁控溅射沉积及性能研究

本文采用射频磁控溅射法,以高硼硅玻璃为靶材,在高硼硅玻璃基底上制备高硼硅玻璃薄膜。探讨磁控溅射法与熔融法制得的高硼硅玻璃的性能差异,研究磁控溅射功率对高硼硅玻璃薄膜质量的影响。通过X射线衍射仪(XRD

2021-02-09 00:24

PVA SiO2HMDS薄膜的制备及性能的研究

PVA/ SiO2/ HMDS薄膜的制备及性能的研究，章富，耿蒙蒙，本文采用静电纺丝技术在玻璃基片表面构筑聚乙烯醇（PVA）纳米纤维网膜，以正硅酸丁酯（TEOS）为硅源，通过气相沉积法向PVA纳米纤维

2020-07-16 07:07

PECVD技术制备光学薄膜的研究进展

等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在制备高激光损伤阈值的激光薄膜和渐变折射率结构的光学薄膜方面有独特的优点。通过大量的工艺研究,人们掌握了调控光学薄膜材料折射率和降低消光系数的方法。目前已知薄

2021-01-31 14:08

掺硼非晶硅薄膜性能研究

掺硼非晶硅薄膜性能研究，朱魁鹏，吴志明，用等离子体增强化学气相沉积法制备了掺硼氢化非晶硅薄膜材料,对薄膜的电阻率和均匀性进行了研究.结果表明,掺硼a-Si:H薄膜的电阻率随

2020-07-17 11:00

多晶硅薄膜的制备方法设计

多晶硅薄膜材料同时具有单晶硅材料的高迁移率及非晶硅材料的可大面积、低成本制备的优点。因此,对于多晶硅薄膜材料的研究越来越引起人们的关注,多晶硅薄膜的制备工艺可分为两大类:一类是高温工艺,制备过程中温度

2020-10-28 05:45