电致伸缩微位移器在机床刀具微进给系统的应用

上传：chaojihexiang 浏览： 13 推荐： 0 文件：PDF 大小：380.41KB 上传时间：2020-08-06 03:01:41 版权申诉

随着电子技术、宇航、生物工程等学科的发展,对精密机械的精度要求越来越高,要求精密机械和检测设备具有亚微米甚至纳米精度。使微位移技术得到迅速发展,主要介绍了电致伸缩微位移器的原理和应用。