首页 下载 课程学习 C++/C 下载详情 采用适合工艺技术制造硅MEMS振荡器 上传:u949194896 浏览: 13 推荐: 0 文件:PDF 大小:540.85KB 上传时间:2020-10-28 06:04:55 版权申诉 本文展示了一种适用于MEMS振荡器的制造工艺,以及一组可与传统的石英晶体技术相媲美的测量数据。 立即下载 上传资源 微信扫一扫 用户评论 提交评论