采用适合工艺技术制造硅MEMS振荡器

上传：u949194896 浏览： 13 推荐： 0 文件：PDF 大小：540.85KB 上传时间：2020-10-28 06:04:55 版权申诉

本文展示了一种适用于MEMS振荡器的制造工艺,以及一组可与传统的石英晶体技术相媲美的测量数据。

上传资源