硅基MEMS制造技术分析

本文以中美两国在硅基MEMS制造技术领域中的专利态势作为分析对象,专利数据分别源自美国专利商标局和国家知识产权局网站的公开信息。数据截止日期为2010年10月25日。主要包括采集年限内已获授权的美国专利、已公开的美国专利申请以及已公开或已授权的中国专利申请,对于已被受理但尚未被公开的专利申请不在本文统计之列。