工艺化学品污染

在制造工厂中,用于刻蚀和清洗晶圆和设备的酸、碱、溶剂必需是最高纯度的。涉及的污染物有金属离子微粒和其它化学品。与水不同的是,工艺化学品是采购来的,直接运输到工厂后使用。工业化学品分不同级别,他们分一般溶剂、化学试剂、电子级和半导体级。前两种对于半导体使用来说过脏,电子级与半导体级相对洁净些,但不同制造商所生产化学品的洁净度也是不同的。 图 5.21 典型去离子水系统 Purity Water纯水 Particle Prefilter 颗粒前过滤器 Reverse Osmosis Demineralizer反渗透去微粒器 Primary Demineralizer主要去微粒器 N2氮气 Stor