工艺化学品

很明显,需要很多工艺来将原始半导体材料转变为有用的器件,大部份的工艺使用化学品。芯片制造首要是一种化学工艺,或者更准确地说是一系列化学工艺,高达20%工艺步骤是清洗和晶圆表面的准备。6 半导体工厂消耗大量的酸,碱,溶剂和水。为达到精确和洁净的工艺,部分成本是由于化学品需要非常高的纯度和特殊的反应机理。晶圆越大,洁净度要求越高,相应就需要更多的自动清洗位置,清洗所用化学品的成本也就跟着升高。当把芯片的制造成本加在一起,其中化学品占总制造成本可达40%。 对半导体工艺化学品洁净度的要求在第四章介绍。在工艺章节会详细介绍特定化学品和它们的特性。 分子,化合物和混合物 在2.3.1节,用玻尔原子模型解