首页 下载 云计算 微服务 下载详情 光刻缺陷及影响 上传:planetxzs 浏览: 12 推荐: 0 文件:PDF 大小:27.97KB 上传时间:2020-12-12 23:44:51 版权申诉 课程内容: 1 光刻工艺的质量要求 1.1 图形完整、尺寸准确、边缘整齐、陡直 1.2 图形内无针孔 1.3 图形外无小岛 1.4 套合精确、无污染 2 光刻缺陷的影响及形成原因 2.1 光刻缺陷及影响 2.1.1浮胶及影响 2.1.2毛刺、钻蚀及影响 2.1.3针孔及影响 立即下载 上传资源 微信扫一扫 用户评论 提交评论