光刻缺陷及影响

上传：planetxzs 浏览： 12 推荐： 0 文件：PDF 大小：27.97KB 上传时间：2020-12-12 23:44:51 版权申诉

课程内容: 1 光刻工艺的质量要求 1.1 图形完整、尺寸准确、边缘整齐、陡直 1.2 图形内无针孔 1.3 图形外无小岛 1.4 套合精确、无污染 2 光刻缺陷的影响及形成原因 2.1 光刻缺陷及影响 2.1.1浮胶及影响 2.1.2毛刺、钻蚀及影响 2.1.3针孔及影响