氩准分子激光器

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半导体的光加工和核聚变等离子体中轻元素的密度测定等,对近于100 nm波长区高功率真空紫外激光器的要求正在增高。最近,电子束激发氩准分子激光器已在这个波长区获得相当高的功率振荡。

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氩激光器发射ISO瓦连续波

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研制氟化氩和氟化氪激光器

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