离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用

上传：Mr_hance 浏览： 7 推荐： 0 文件：PDF 大小：910.53KB 上传时间：2021-02-19 23:04:21 版权申诉

从离子束清洗、离子束辅助沉积以及离子束后处理三个方面,介绍了离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用背景、应用优势以及存在的问题。

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