测量薄膜的热扩散率

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对测量蒸镀薄膜热扩散的脉冲加热技术已作了改进。该法利用电容能的脉冲电源系统将薄膜基片电阻加热到1,000到1000 Κ。迅速加热(时间间隔为20 με)不仅可以研究薄膜镀层,而且可以收集材料的有关数据,在高温时材料的结构要逐渐发生变化,或者出现质量损失。

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2021-02-20 18:03

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2021-03-05 20:21

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根据泄漏波导原理对K_9玻璃基板上的冰晶石薄膜进行折射率测量,达到的精度为1×10~(-4),与真实波导的情况相似。文中讨论了利用添加高折射率薄层减小待测薄膜的最小厚度的可能性。文中还利用光电方法观察

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基于虚拟仪器的薄膜电阻率测量系统设计

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