用热扩散法测量薄膜

上传：qq_41790 浏览： 7 推荐： 0 文件：PDF 大小：636.55KB 上传时间：2021-02-20 18:03:24 版权申诉

热扩散测量通常是在样品两个侧面上以接触方式进行的。当后侧面不能接近或被牢固地安在衬底上时,这种测量就不太行。但使用脉冲激光感应热辐射术进行没有实体接触的热扩散测量的单端法则是完全可行的。