在线测量表面粗糙度的共光路激光外差干涉仪

一种新型的、 用于在线测量表面粗糙度的激光外差干涉仪已研制完成。 该仪器体积小(25 cm×20 cm×10 cm)、 抗外界环境干扰能力强。 仪器以稳频半导体激光器作为光源。 共光路设计, 使测量光和参考光沿同一路径入射到被测表面上。 计大数和测小数周期相结合的外差信号处理方法, 实现了大的动态测量范围和很高的测量分辩率。 同时还采用了全反射临界角法进行自动聚焦。 该仪器的纵向和横向分辨率分别为0.39 nm和0.73 μm; 自动聚焦范围为±0.5 mm, 在焦点±25 μm范围内, 聚焦精度为1 μm; 80分钟内整机稳定性: 3σ=1.95 nm。