实时测量表面形貌的抗振抗干扰半导体激光干涉仪
在实时干涉测量中, 环境温度变化、空气扰动和系统内部参数漂移都会导致相位测量误差, 尤其在高精度测量场合, 这种误差的影响尤其明显。为此, 提出了抗干扰滤波鉴相式半导体实时正弦相位调制(SPM)面形干涉测量技术, 阐明其工作原理, 并用硬件实现实时鉴相与扩大量程。该反馈控制系统利用光电检测器(PD)从干涉信号中取出一点的干涉信号作反馈信号注入半导体激光器(LD), 使其波长改变, 将外界干扰产生的相位误差减小到可以忽略的程度, 从而大大降低外部干扰对测量精度的影响。利用归一化技术消除系统内部光路参数、电路参数漂移对测量精度的影响。对于70×70个测量点, 其重复测量精度约为3 nm, 测量时间
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