半导体激光微小振动实时干涉测量仪

上传：javahepeng 浏览： 8 推荐： 0 文件：PDF 大小：146.88KB 上传时间：2021-02-23 00:05:59 版权申诉

设计了一种半导体激光干涉测量仪,可以实时测量物体的微小振动。通过信号处理电路对干涉信号进行分析,得到实际振动的振幅和频率。给出了具体的理论分析。实验结果验证了该干涉仪的实用性。

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