复合光源实时微振动干涉测量仪

上传:A张远15886 浏览: 4 推荐: 0 文件:PDF 大小:171.18KB 上传时间:2021-04-07 06:26:28 版权申诉
提出了一种新的实时微振动激光干涉测量仪.通过采用复合光源和反馈系统,有效地消除了激光二极管-正弦相位调制(LD-SPM)干涉仪中由电流调制所带来的测量误差和外界干扰所带来的影响,实现了物体微振动的纳米精度实时测量.
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