首页 下载 数据库 其它 下载详情 用于纳米精度大范围位移测量的半导体激光干涉仪 上传:流域天韵 浏览: 8 推荐: 0 文件:PDF 大小:119.26KB 上传时间:2021-04-05 09:37:07 版权申诉 在光频光热调制半导体激光正弦相位调制干涉仪的基础上,提出了一种扩大其测量范围的方法,使得在保持纳米精度的前提下,测量范围由半个波长扩大为125.56μm,并讨论了进一步扩大测量范围的可能性。本方法得到了模拟计算和实验结果的很好验证。 立即下载 上传资源 微信扫一扫 用户评论 提交评论