用于工业测长的小型半导体激光干涉仪

He-Ne激光器发射波长为λ=632.8 nm的准直干辐射,功率较大,用于干涉装置特别有利。迄今使用的激光干涉仪几乎无例外地都采用这种气体激光器作光源。因此, 这种激光干涉仪体积较大,且需要大而稳定的支架和底座。