首页 下载 数据库 其它 下载详情 折射型微透镜列阵的光刻热熔法研究 上传:xindyfeng 浏览: 10 推荐: 0 文件:PDF 大小:1.53MB 上传时间:2021-02-23 10:06:39 版权申诉 研究了制作折射型微透镜列阵的一种新方法光刻胶热熔成形法,获得了20×20的折射型微透镜列阵,单元微透镜相对口径为F/2,单元透镜直径为90 μm,中心间隔100 μm,透镜的波像差小于1.3波长。本文详细阐述了光刻热熔法的基本原理及微透镜设计方法,并讨论了工艺参数对微透镜列阵质量的影响。 立即下载 上传资源 微信扫一扫 用户评论 提交评论