同步辐射用光学元件的检测

同步辐射(SR)用光学元件必须采用很大的入射角以得到较高的反射率,从而使得这类光学元件一般均为横向较窄而轴向甚长的长条状。为获得好的聚焦性能,这类光学元件的面形通常为非球面,包括圆柱面、环面等,曲率半径范围从约几十毫米到无穷大,因此同步辐射中的光学检测不同于可见光光学元件的检测方法。为了保证同步辐射光束线的传输效率,第三代同步辐射光束线要求镜子工作表面的斜率均方根(RMS)误差在3 μrad以下,表面粗糙度RMS要求小于0.3 nm,精确测量这些反射镜的表面轮廓对于建造同步辐射光束线非常重要。同步辐射光学检测设备除了常用的面形干涉仪、粗糙度仪外,还有一种可见光检测中没有的设备--长程面形仪(L