大口径光学元件的精密检测技术

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随着光学元件口径的增大, 光学系统对精度的要求提高, 传统干涉仪检测手段已经不再满足要求。为了提高制造效率, 需要适当的在线检测技术和多工段检测手段。结合现阶段系统研制的需要, 介绍了子孔径拼接干涉检测技术、数字刀口检测技术以及红外干涉检测技术, 分别对其基本原理和具体应用进行了分析。

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大口径光学元件的抛光

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2021-04-18 07:36

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2020-12-23 01:25

瞬态温度变化对大口径光学元件的影响

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2021-02-20 02:53

大口径熔石英光学元件紫外损伤机制

为了提高高功率激光装置光学元件的抗损伤能力,通过分析经历了上百发次高通量351 nm激光辐照的熔石英光学元件损伤的微观形貌,结合光束传输理论研究了大口径熔石英元件的紫外损伤机理。研究表明,目前加工工艺

2021-02-21 03:00

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空间光学元件对面形精度和表面质量有着极高的要求, 气囊抛光采用了新型的抛光工具和特殊的运动形式, 是一种高精度、高效率的光学元件加工方法, 尤其适用于非球面的加工, 具有广阔的应用前景。分析了气囊抛光

2021-02-22 05:29

同步辐射用光学元件的检测

同步辐射(SR)用光学元件必须采用很大的入射角以得到较高的反射率,从而使得这类光学元件一般均为横向较窄而轴向甚长的长条状。为获得好的聚焦性能,这类光学元件的面形通常为非球面,包括圆柱面、环面等,曲率半

2021-02-25 17:46

大口径光学元件波前调制PSD初步模拟分析

使用PSD作为大口径光学元件表面加工质量的评价参数,针对不同的波前调制进行了初步的模拟计算。得到了不同调制频率和不同调制深度情况下的PSD曲线变化情况,结果表明了 PSD曲线能够在频率域对不同调制频率

2021-02-22 21:36

基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测

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