大口径精密光学元件柔性支撑结构设计和分析

设计了一种用于大口径透镜支撑的柔性结构,利用有限元分析方法分析了柔性支撑结构的设计变量对透镜面形的影响。以环境温度变化时,大口径透镜面形要求为设计目标,以大口径透镜组件的基频为设计约束,通过对柔性支撑结构的优化设计,满足了透射式光学系统在环境温度变化时对透镜面形的精度要求(RMS<λ/50,λ=632.8 nm)。