大口径光学元件波前调制PSD初步模拟分析

使用PSD作为大口径光学元件表面加工质量的评价参数,针对不同的波前调制进行了初步的模拟计算。得到了不同调制频率和不同调制深度情况下的PSD曲线变化情况,结果表明了 PSD曲线能够在频率域对不同调制频率信息和不同调制深度信息都具有很好的描述功能。