沉积气氛对直流磁控溅射制备的Mg掺杂CuCrO2薄膜结构和性能的影响

上传:sunwei79386 浏览: 9 推荐: 0 文件:PDF 大小:856.64KB 上传时间:2021-04-04 07:28:46 版权申诉
沉积气氛对直流磁控溅射制备的Mg掺杂CuCrO2薄膜结构和性能的影响
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